PROCOM
PROCOM (PROcesses of COMpounds) 一种提供2D与3D模拟的仿真软件，让用户观察半导体薄膜在常见的金属有机化合物化学气相沉积（MOCVD）下的成长。在已知沉积反应器的几何形状、化学物质种类和成长环境参数中，PROCOM能够基于精细的化学动力、质量及热传导模型预测半导体薄膜成长率、组成、厚度一致性、杂质渗入率和缺陷分布，更多细节请参考我们的 完整版PROCOM产品手册 或 简易版PROCOM产品手册。
物理化学方程
- 化学反应动力学方程
- 质量传输/守恒方程
- 流体动力学方程
- 热传输方程（能量守恒方程）
- 旋转衬底气体传输守恒方程
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PROCOM特性
- 多层级仿真，理想状态 2D 3D
- 无限制的反应腔结构及反应物种类数量， 包括Aistron, Emcore 和Thomas Swan等商业应用反应腔结构
- 暂态及稳态仿真 （随时间变化的生长过程）
- 器件模拟接口，可将生长出的器件结构输出给器件模拟软件
- (APSYS、PICS3D和CSUPREM) 进行电学和光学特性仿真
- 丰富的化合物及化学反应数据库
- 多量子阱结构的生长
- 支持多种化合物半导体材料生长， 包括GaAs、AlGaN、GaN、InGaAsP、InGaN, InGaP、 InAs 和 InP 等
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数据输出
- 各种化合物在反应腔内的质量、摩尔分数的分布
- 各种化合物在反应腔内反应速率的分布
- 流体在反应腔内速度大小及方向的分布
- 反应腔内温度分布
- 衬底上薄膜生成速率分布
- 衬底上薄膜厚度及组成在不同位置和生长时间时的分布
- 杂质及缺陷在薄膜内的分布
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《PROCOM》上有2条评论
王霖发布于12:03 下午 - 1月 18, 2022
问一下，我们打算使用有机气相化学沉积技术，在aixtron气体外延设备之下做出外延片，这种你们可以提供仿真的服务么？PROCOM可以提供仿真么？
crosslight_china发布于4:49 下午 - 1月 18, 2022
您好，我们暂无此类服务可以提供。如您有其他技术问题可以：
1.登录http://simu8.net进行注册；
2.进入【留言交流】版块，点击左侧【发起交流】按钮进行提问；
3.相关人员将尽快回复您，请耐心等待。
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