CSUPREM

计算模型和特性

• 2D、准3D、混合3D、全3D工艺仿真模型

• 完善的离子注入模型

• 各种刻蚀模型（各向异性等）

• 共形沉积

• 完善的扩散模型

• 包含应力效应和体积膨胀的干氧和湿氧化模型

• GPU加速运算器

• 经AutoTCAD与Design of Experiments

•  (DOE) 进行器件最佳化批次处理

器件应用

• MOSFET

• LDMOS/环形跑道栅极

• 应力硅和锗硅器件

• BJT

• HBT

• 三维互联结构

• VDMOS
• HexFET

• IGBT

• ESD

• JFET

• MESFET

• FinFET

• MEMS

• 各类化合物半导体器件结构建模

用户界面工具

• MaskEditor: 一步到位3D布局模拟编辑器

• SimuCSuprem: 内建时时帮助的模拟编辑器

• CrosslightView: 整合型工艺与器件模拟绘图界面