NovaTCAD

 

 

叠加式网格层

 

• 易于进行准3d及全3D的工艺仿真
• 具体可靠且具有弹性
• 大大减少网格的数量

 

 

工艺仿真

 

• Gauss模型、Pearson模型、SIMS資料與使用者自訂模型
• Gauss模型、Pearson模型、SIMS资料与用户自定义模型
• 自动或使用者控制切换四种不同蚀刻类型
• 可进行先进的全3D扩散模型与GPU模拟
• 应变硅、碳化硅以及氮化镓材料组成的系统
• 所有杂质的活化模型
• 其他模拟

 

 

器件仿真

 

• 从先前储存的状态重新开始
• 业界领先的数值收敛
• 大量材料模型
• 热载流子的流体力学模型
• 量子通道与传输
• 热离子发射模型
• 热传导方程式
• 深能级缺陷与缺陷动态
• 界面状态
• Poole-Frenkel 模型
• 自洽性量子井计算
• 热效应模型
• 碰撞电离
• 其它模拟

 

 

SimuGPU

 

• GPU加速计算，依网格大小与结构组成，最快可达到比CPU型计算快三倍的模拟。
• GPU模拟可用于CSUPREM(例如：3D扩散)工艺仿真以及APSYS器件仿真。

 

 

超合并

 

合并两个独立的工艺仿真以进行3D器件模拟，适用于复杂3D结构，如：金属互联仿真。

 

 

弯曲网格平面

 

高效能网格，适用于极复杂的3D模拟，平面与弯曲的网格平面做独特的结合。

 

 

AutoTCAD

 

AutoTCAD 提供实验性设计(DOE)的特性。