PROCOM (PROcesses of COMpounds) 一种提供2D与3D模拟的仿真软件,让用户观察半导体薄膜在常见的金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)下的成长。在已知沉积反应器的几何形状、化学物质种类和成长环境参数中,PROCOM能够基于精细的化学动力、质量及热传导模型预测半导体薄膜成长率、组成、厚度一致性、杂质渗入率和缺陷分布,更多细节请参考我们的 完整版PROCOM产品手册简易版PROCOM产品手册

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