NovaTCAD 是一款基于windows操作系统研发、经济型且易于使用的模拟软体,用于微电子应用的模拟,本软件是结合了Crosslight的基本模拟工具,包括MaskEditor、SimuCsuprem、SimuApsys、CrosslightView和Layerbuilder 2D/3D,提供用户全新的模拟体验。

模式

  • 2D准3D混合式3D和全3D的工艺仿真
  • 2D和全3D的器件仿真

叠加式网格层

  • 易于进行准3d及全3D的工艺仿真
  • 具体可靠且具有弹性
  • 大大减少网格的数量

工艺仿真

  • Gauss模型、Pearson模型、SIMS資料與使用者自訂模型
  • Gauss模型、Pearson模型、SIMS资料与用户自定义模型
  • 自动或使用者控制切换四种不同蚀刻类型
  • 可进行先进的全3D扩散模型与GPU模拟
  • 应变硅、碳化硅以及氮化镓材料组成的系统
  • 所有杂质的活化模型
  • 其他模拟

器件仿真

  • 从先前储存的状态重新开始
  • 业界领先的数值收敛
  • 大量材料模型
  • 热载流子的流体力学模型
  • 量子通道与传输
  • 热离子发射模型
  • 热传导方程式
  • 深能级缺陷与缺陷动态
  • 界面状态
  • Poole-Frenkel 模型
  • 自洽性量子井计算
  • 热效应模型
  • 碰撞电离
  • 其它模拟

SimuGPU

  • GPU加速计算,依网格大小与结构组成,最快可达到比CPU型计算快三倍的模拟。
  • GPU模拟可用于CSUPREM(例如:3D扩散)工艺仿真以及APSYS器件仿真。

超合并

合并两个独立的工艺仿真以进行3D器件模拟,适用于复杂3D结构,如:金属互联仿真。

弯曲网格平面

高效能网格,适用于极复杂的3D模拟,平面与弯曲的网格平面做独特的结合。

AutoTCAD

AutoTCAD 提供实验性设计(DOE)的特性。

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